本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料制備,尤其涉及一種韌性碳化硅結(jié)構(gòu)件及其制備方法和應(yīng)用。、半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”發(fā)展規(guī)律,半導(dǎo)體設(shè)備是延續(xù)“摩爾定律”的瓶頸與關(guān)鍵,而精密零部件則是半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)的直接保障。在光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光(cmp)等多個半導(dǎo)體制...