本發(fā)明涉及芯片檢測(cè),具體為適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置。
背景技術(shù):
1、芯片視覺(jué)檢測(cè)是對(duì)芯片的表面形貌、結(jié)構(gòu)缺陷及封裝尺寸進(jìn)行可視化檢測(cè)的技術(shù)手段,其通過(guò)獲取芯片圖像并與標(biāo)準(zhǔn)模板比對(duì),或直接識(shí)別圖像中的異常區(qū)域來(lái)判斷芯片是否合格,從而避免殘次品流入市場(chǎng)。
2、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,芯片的應(yīng)用場(chǎng)景不斷拓展,而芯片在制造完成后便需要對(duì)其進(jìn)行視覺(jué)檢測(cè),在視覺(jué)檢測(cè)過(guò)程中,為防止芯片受到震動(dòng)及碰撞而損壞,便需要一種芯片載架,對(duì)芯片提供防護(hù)。
3、芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置主要由載盤和定位機(jī)構(gòu)組成,在使用時(shí)通過(guò)將芯片放入載盤凹槽內(nèi),并通過(guò)定位機(jī)構(gòu)對(duì)芯片的位置進(jìn)行定位,并使用高倍顯微鏡對(duì)芯片進(jìn)行審視,從而完成芯片的檢測(cè)工作,但是該裝置在實(shí)際使用過(guò)程中,由于人工長(zhǎng)時(shí)間工作,會(huì)因工作疲勞產(chǎn)生漏檢,現(xiàn)有技術(shù)通過(guò)工業(yè)級(jí)ccd相機(jī),對(duì)芯片表面進(jìn)行微米級(jí)圖像采集,實(shí)現(xiàn)芯片的自動(dòng)檢測(cè),提高芯片檢測(cè)的準(zhǔn)確率,但是在使用時(shí),該裝置需要人工對(duì)芯片進(jìn)行上下料工作,延長(zhǎng)了芯片單次檢測(cè)時(shí)間,現(xiàn)有技術(shù)采用添加輸送帶,通過(guò)輸送帶自動(dòng)將芯片輸送至檢測(cè)區(qū)域,并通過(guò)真空吸附頭,防止芯片在檢測(cè)時(shí)發(fā)生移動(dòng),但是該裝置在實(shí)際使用過(guò)程中,由于需要對(duì)芯片的多面進(jìn)行檢測(cè),該裝置并不方便對(duì)芯片進(jìn)行翻轉(zhuǎn),導(dǎo)致芯片的檢測(cè)流程增加,降低了該裝置的檢測(cè)效率,不能滿足使用者的需求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,解決了芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置不方便對(duì)芯片的多面進(jìn)行檢測(cè)的問(wèn)題。
2、為實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,包括固定架,所述固定架的頂部固定連接有支架,所述固定架的上側(cè)設(shè)置有定位板,所述固定架的底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于方便對(duì)芯片的不同面進(jìn)行檢測(cè),所述固定架的上側(cè)設(shè)置有定位機(jī)構(gòu),所述定位機(jī)構(gòu)用于方便對(duì)不同尺寸的芯片進(jìn)行定位,所述固定架的頂部后側(cè)設(shè)置有下料機(jī)構(gòu),所述下料機(jī)構(gòu)用于方便對(duì)不合格的芯片進(jìn)行挑選;
3、所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括箱體,所述箱體固定連接在固定架的底部,所述箱體的前側(cè)固定連接有第一電機(jī),所述第一電機(jī)的輸出端貫穿箱體并固定連接有雙向螺紋桿,所述雙向螺紋桿的外壁前后側(cè)均螺紋連接有滑塊,所述滑塊的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿,所述連桿的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐板,所述支撐板的頂部前后側(cè)均固定連接有空心板,所述空心板的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有活動(dòng)板,兩個(gè)所述空心板的相鄰一側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端與定位板固定連接,所述空心板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有復(fù)位組件,所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的外側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)組件。
4、優(yōu)選的,所述定位機(jī)構(gòu)包括活動(dòng)盤,所述活動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)連接在定位板的內(nèi)側(cè)底部,所述活動(dòng)盤的底部前后側(cè)均開(kāi)設(shè)有曲形槽,所述曲形槽的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有插接柱,所述支架的底部前后側(cè)均開(kāi)設(shè)有貫穿槽,所述貫穿槽的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有連接板,所述連接板的頂部與插接柱固定連接,所述連接板的一側(cè)固定連接有夾板,所述活動(dòng)盤的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件。
5、優(yōu)選的,所述下料機(jī)構(gòu)包括空心塊,所述空心塊固定連接在固定架的頂部后端左側(cè),所述空心塊的左側(cè)固定連接有第二電機(jī),所述第二電機(jī)的輸出端貫穿空心塊并固定連接有主動(dòng)錐齒輪,所述空心塊的內(nèi)側(cè)中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)桿,所述傳動(dòng)桿的外側(cè)底部固定連接有從動(dòng)錐齒輪,所述從動(dòng)錐齒輪與主動(dòng)錐齒輪嚙合連接,所述傳動(dòng)桿的頂端貫穿空心塊并固定連接有支撐桿,所述支撐桿的前端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊,所述連接塊的右側(cè)固定連接有收集盒,所述支撐桿的外側(cè)設(shè)置有限位組件,所述空心塊的后側(cè)設(shè)置有控制組件。
6、優(yōu)選的,所述復(fù)位組件包括導(dǎo)桿,所述導(dǎo)桿固定連接在空心板的內(nèi)側(cè)底部,所述導(dǎo)桿的外側(cè)設(shè)置有推力彈簧,所述導(dǎo)桿的頂部貫穿活動(dòng)板。
7、優(yōu)選的,所述復(fù)位組件包括第一齒輪,所述第一齒輪固定連接在轉(zhuǎn)動(dòng)桿的外側(cè),所述活動(dòng)板的右側(cè)頂部固定連接有齒條,所述齒條與第一齒輪嚙合連接,所述支架的內(nèi)側(cè)左右端均固定連接有擋塊。
8、優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)組件包括齒環(huán),所述齒環(huán)固定連接在活動(dòng)盤的頂部,所述定位板的頂部左側(cè)固定連接有馬達(dá),所述馬達(dá)的輸出端貫穿定位板并固定連接有第二齒輪,所述第二齒輪與齒環(huán)嚙合連接。
9、優(yōu)選的,所述限位組件包括安裝板,所述安裝板固定連接在支撐桿的外壁前側(cè),所述安裝板的底部右側(cè)固定連接有擋片,所述擋片與收集盒相接觸,所述安裝板的底部右端固定連接有拉力彈簧,所述拉力彈簧的底端與收集盒的后側(cè)固定連接。
10、優(yōu)選的,所述控制組件包括l形板,所述l形板固定連接在空心塊的后側(cè),所述l形板的后側(cè)頂部固定連接有推輥,所述連接塊的頂部左端固定連接有固定片。
11、優(yōu)選的,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括滑槽,兩個(gè)所述滑槽分別開(kāi)設(shè)在箱體的內(nèi)部底端前后側(cè),所述滑塊的底部與滑槽滑動(dòng)連接。
12、優(yōu)選的,所述支架的內(nèi)側(cè)頂部滑動(dòng)連接有高速相機(jī),所述固定架的頂部固定連接有u形座,所述u形座的內(nèi)側(cè)頂部設(shè)置有輸送帶。
13、本發(fā)明提供了適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置。具備以下有益效果:
14、1、本發(fā)明通過(guò)第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)雙向螺紋桿旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)滑塊移動(dòng),滑塊通過(guò)連桿會(huì)推動(dòng)支撐板向上移動(dòng),空心板會(huì)隨之帶動(dòng)定位板向上移動(dòng),并且活動(dòng)板移動(dòng)至擋塊下側(cè)時(shí),位置會(huì)被擋塊固定,由于轉(zhuǎn)動(dòng)桿外側(cè)的第一齒輪與齒條嚙合,轉(zhuǎn)動(dòng)桿繼續(xù)上升時(shí)會(huì)帶動(dòng)定位板旋轉(zhuǎn),從而對(duì)芯片的不同面進(jìn)行視覺(jué)檢測(cè),提高了該裝置的檢測(cè)效率,能夠滿足使用者的需求。
15、2、本發(fā)明通過(guò)馬達(dá)會(huì)帶動(dòng)第二齒輪旋轉(zhuǎn),并通過(guò)第二齒輪與齒環(huán)的嚙合傳動(dòng),使活動(dòng)盤旋轉(zhuǎn),從而通過(guò)曲形槽推動(dòng)插接柱移動(dòng),插接柱通過(guò)連接板能夠帶動(dòng)夾板,使兩側(cè)夾板同步向中間移動(dòng),對(duì)芯片進(jìn)行夾持固定,并使芯片處于定位板的中心位置,并且芯片不會(huì)被遮擋,提高了該裝置的實(shí)用性。
16、3、本發(fā)明通過(guò)第二電機(jī)帶動(dòng)主動(dòng)錐齒輪旋轉(zhuǎn),并通過(guò)從動(dòng)錐齒輪與主動(dòng)錐齒輪的嚙合傳動(dòng),使傳動(dòng)桿帶動(dòng)支撐桿旋轉(zhuǎn),將收集盒轉(zhuǎn)動(dòng)至固定架后側(cè),并且收集盒在移動(dòng)至后側(cè)時(shí),推輥會(huì)推動(dòng)固定片移動(dòng),帶動(dòng)連接塊旋轉(zhuǎn),使收集盒中的芯片落下,實(shí)現(xiàn)對(duì)不合格芯片的自動(dòng)出料工作,提高了該裝置使用的便利性。
1.適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,包括固定架(1),其特征在于,所述固定架(1)的頂部固定連接有支架(5),所述固定架(1)的上側(cè)設(shè)置有定位板(6),所述固定架(1)的底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)用于方便對(duì)芯片的不同面進(jìn)行檢測(cè),所述固定架(1)的上側(cè)設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)(3),所述定位機(jī)構(gòu)(3)用于方便對(duì)不同尺寸的芯片進(jìn)行定位,所述固定架(1)的頂部后側(cè)設(shè)置有下料機(jī)構(gòu)(4),所述下料機(jī)構(gòu)(4)用于方便對(duì)不合格的芯片進(jìn)行挑選;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述定位機(jī)構(gòu)(3)包括活動(dòng)盤(31),所述活動(dòng)盤(31)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在定位板(6)的內(nèi)側(cè)底部,所述活動(dòng)盤(31)的底部前后側(cè)均開(kāi)設(shè)有曲形槽(32),所述曲形槽(32)的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有插接柱(33),所述支架(5)的底部前后側(cè)均開(kāi)設(shè)有貫穿槽(34),所述貫穿槽(34)的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有連接板(35),所述連接板(35)的頂部與插接柱(33)固定連接,所述連接板(35)的一側(cè)固定連接有夾板(36),所述活動(dòng)盤(31)的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件(37)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述下料機(jī)構(gòu)(4)包括空心塊(41),所述空心塊(41)固定連接在固定架(1)的頂部后端左側(cè),所述空心塊(41)的左側(cè)固定連接有第二電機(jī)(42),所述第二電機(jī)(42)的輸出端貫穿空心塊(41)并固定連接有主動(dòng)錐齒輪(43),所述空心塊(41)的內(nèi)側(cè)中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)桿(44),所述傳動(dòng)桿(44)的外側(cè)底部固定連接有從動(dòng)錐齒輪(45),所述從動(dòng)錐齒輪(45)與主動(dòng)錐齒輪(43)嚙合連接,所述傳動(dòng)桿(44)的頂端貫穿空心塊(41)并固定連接有支撐桿(46),所述支撐桿(46)的前端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接塊(47),所述連接塊(47)的右側(cè)固定連接有收集盒(410),所述支撐桿(46)的外側(cè)設(shè)置有限位組件(48),所述空心塊(41)的后側(cè)設(shè)置有控制組件(49)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述復(fù)位組件(28)包括導(dǎo)桿(281),所述導(dǎo)桿(281)固定連接在空心板(27)的內(nèi)側(cè)底部,所述導(dǎo)桿(281)的外側(cè)設(shè)置有推力彈簧(282),所述導(dǎo)桿(281)的頂部貫穿活動(dòng)板(210)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述復(fù)位組件(28)包括第一齒輪(291),所述第一齒輪(291)固定連接在轉(zhuǎn)動(dòng)桿(211)的外側(cè),所述活動(dòng)板(210)的右側(cè)頂部固定連接有齒條(292),所述齒條(292)與第一齒輪(291)嚙合連接,所述支架(5)的內(nèi)側(cè)左右端均固定連接有擋塊(293)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)組件(37)包括齒環(huán)(371),所述齒環(huán)(371)固定連接在活動(dòng)盤(31)的頂部,所述定位板(6)的頂部左側(cè)固定連接有馬達(dá)(372),所述馬達(dá)(372)的輸出端貫穿定位板(6)并固定連接有第二齒輪(373),所述第二齒輪(373)與齒環(huán)(371)嚙合連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述限位組件(48)包括安裝板(481),所述安裝板(481)固定連接在支撐桿(46)的外壁前側(cè),所述安裝板(481)的底部右側(cè)固定連接有擋片(482),所述擋片(482)與收集盒(410)相接觸,所述安裝板(481)的底部右端固定連接有拉力彈簧(483),所述拉力彈簧(483)的底端與收集盒(410)的后側(cè)固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述控制組件(49)包括l形板(491),所述l形板(491)固定連接在空心塊(41)的后側(cè),所述l形板(491)的后側(cè)頂部固定連接有推輥(492),所述連接塊(47)的頂部左端固定連接有固定片(493)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)還包括滑槽(212),兩個(gè)所述滑槽(212)分別開(kāi)設(shè)在箱體(21)的內(nèi)部底端前后側(cè),所述滑塊(24)的底部與滑槽(212)滑動(dòng)連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適于芯片視覺(jué)檢測(cè)的芯片載架裝置,其特征在于,所述支架(5)的內(nèi)側(cè)頂部滑動(dòng)連接有高速相機(jī)(7),所述固定架(1)的頂部固定連接有u形座(8),所述u形座(8)的內(nèi)側(cè)頂部設(shè)置有輸送帶(9)。