本發(fā)明涉及集成電路測(cè)試，尤其涉及一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備。
背景技術(shù)：
1、集成電路是現(xiàn)代電子技術(shù)的核心基礎(chǔ)，廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子、汽車電子、工業(yè)控制等眾多領(lǐng)域，是推動(dòng)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量，隨著科技的不斷進(jìn)步，集成電路的集成度呈現(xiàn)出指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)，特征尺寸不斷縮小，工作頻率持續(xù)提高，在集成電路制造過(guò)程中，由于工藝偏差、材料缺陷、雜質(zhì)污染等因素，不可避免地會(huì)在芯片內(nèi)部引入各種缺陷和潛在故障點(diǎn)，這些缺陷和故障點(diǎn)可能導(dǎo)致電路在工作過(guò)程中出現(xiàn)微電流泄漏現(xiàn)象，所以就需要使用測(cè)試設(shè)備對(duì)集成電路進(jìn)行檢測(cè)。
2、目前使用的集成電路測(cè)試設(shè)備在對(duì)電路板進(jìn)行檢測(cè)時(shí)通常都需要先將電路板通過(guò)底座進(jìn)行固定，然后調(diào)整探針的位置使探針與電路板的觸點(diǎn)緊貼進(jìn)行檢測(cè)，但是在調(diào)整探針位置時(shí)探針的移動(dòng)距離可能會(huì)出現(xiàn)過(guò)長(zhǎng)的情況，這時(shí)探針就會(huì)與電路板的觸點(diǎn)過(guò)度擠壓，因此容易對(duì)探針和電路板的觸點(diǎn)造成損壞，而且在進(jìn)行電流檢測(cè)時(shí)電路板的銅制觸點(diǎn)部分溫度會(huì)升高，但是現(xiàn)在使用的測(cè)試設(shè)備在檢測(cè)完一塊電路板后需要立即取下才能放置新的電路板，因此容易出現(xiàn)燙傷的情況，而且頻繁更換電路板也影響檢測(cè)效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其能夠有效避免探針對(duì)電路板的觸點(diǎn)過(guò)度擠壓，避免對(duì)探針和電路板的觸點(diǎn)造成損壞，而且在檢測(cè)完一塊電路板后可繼續(xù)調(diào)整另外兩個(gè)支撐塊的位置，從而繼續(xù)對(duì)其它電路板進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)可使檢測(cè)完成的電路板進(jìn)行冷卻，避免電路板溫度過(guò)高而出現(xiàn)燙傷的情況，并且三塊電路板全部檢測(cè)完成后才需要更換，提高檢測(cè)效率。
2、本發(fā)明第一方面，提供了一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，具體包括：設(shè)備底座；所述設(shè)備底座的內(nèi)側(cè)中間位置安裝有一個(gè)控制模塊；所述設(shè)備底座的頂部前后側(cè)都焊接有一塊主支撐板，兩塊主支撐板之間滑動(dòng)安裝有三個(gè)支撐塊，三個(gè)支撐塊的頂部中間位置都固定有一個(gè)電路板托架；所述設(shè)備底座的頂部左右兩側(cè)都焊接有一塊側(cè)支撐板，兩塊側(cè)支撐板之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有一根絲桿，側(cè)支撐板的左側(cè)還安裝有一個(gè)電機(jī)，且電機(jī)的主軸右端與絲桿左端固定連接；兩塊所述主支撐板之間還滑動(dòng)安裝有兩塊支撐塊推板，支撐塊推板的前后側(cè)均通過(guò)拉簧與主支撐板外側(cè)中間位置的凸起板相連接；位于前方的所述主支撐板頂部滑動(dòng)安裝有一根支撐塊定位桿，支撐塊定位桿上也設(shè)置有一個(gè)拉簧；位于后方的所述主支撐板頂部安裝有兩根電動(dòng)缸，兩根電動(dòng)缸頂端固定有一塊探針托板，探針托板上滑動(dòng)安裝有一根屏蔽式探針，屏蔽式探針外側(cè)安裝有一個(gè)彈簧。
3、其中，所述支撐塊推板的前后端均設(shè)有兩塊矩形板，主支撐板的左右兩側(cè)均設(shè)有兩道矩形開(kāi)口槽，且支撐塊推板前后端的矩形板能夠在主支撐板左右兩側(cè)的矩形開(kāi)口槽中左右滑動(dòng)。
4、其中，所述支撐塊推板的頂部中間位置均設(shè)有一個(gè)缺口槽，絲桿位于支撐塊推板頂部中間位置的缺口槽中，且支撐塊推板一側(cè)的拉簧能夠拉動(dòng)支撐塊推板朝向主支撐板的中間位置滑動(dòng)。
5、其中，所述主支撐板的間距與支撐塊的長(zhǎng)度相等，支撐塊的前后側(cè)外壁上均設(shè)有兩道矩形凸起條，兩塊主支撐板的外壁上也均設(shè)有兩道對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)條形導(dǎo)槽。
6、其中，所述支撐塊定位桿的前端設(shè)有一塊圓形板，支撐塊定位桿外側(cè)的拉簧前端與支撐塊定位桿上的圓形板外壁固定連接，拉簧后端與主支撐板的外壁固定連接。
7、其中，所述絲桿的中間部分為螺紋桿，左右兩側(cè)為圓柱形桿，支撐塊的中間位置均設(shè)有一個(gè)與絲桿外側(cè)螺紋對(duì)應(yīng)的螺紋孔。
8、其中，所述探針托板上設(shè)有一個(gè)圓孔，屏蔽式探針的上方部分與探針托板上的圓孔滑動(dòng)配合，屏蔽式探針外側(cè)的圓形板與彈簧的底端緊貼，彈簧頂端與探針托板的底部面緊貼。
9、其中，所述絲桿左右兩側(cè)圓柱形桿的外徑與絲桿中間部分螺紋桿的桿徑相等。
10、其中，所述支撐塊的頂部前側(cè)中間位置均設(shè)有一個(gè)缺口槽，支撐塊定位桿的后端能夠插入支撐塊頂部前側(cè)中間位置的缺口槽中，而且此時(shí)電路板托架會(huì)位于屏蔽式探針的正下方。
11、其中，所述支撐塊全部調(diào)整至最左側(cè)或者最右側(cè)時(shí)，三個(gè)支撐塊會(huì)全部位于絲桿兩側(cè)的圓柱形桿外側(cè)。
12、本發(fā)明提供了一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，具有如下有益效果：
13、本發(fā)明中的電動(dòng)缸收縮可帶動(dòng)探針托板下移使屏蔽式探針與電路板觸點(diǎn)接觸，從而能夠進(jìn)行微電流泄漏檢測(cè)，如果屏蔽式探針下移的距離過(guò)長(zhǎng)，屏蔽式探針可沿探針托板上的圓孔向上滑動(dòng)，并在彈簧作用下保持恒定壓力，確保與電路板觸點(diǎn)可靠接觸，而且能夠有效避免探針對(duì)電路板的觸點(diǎn)過(guò)度擠壓，避免對(duì)探針和電路板的觸點(diǎn)造成損壞，檢測(cè)完畢后電動(dòng)缸伸長(zhǎng)，彈簧又會(huì)推動(dòng)屏蔽式探針復(fù)位，從而繼續(xù)準(zhǔn)備下一輪測(cè)試。
14、此外，本發(fā)明中的三個(gè)支撐塊頂部的電路板托架上都能裝載一塊電路板，支撐塊推板在拉簧的持續(xù)作用下能夠保持向主支撐板中心方向的拉力，從而推動(dòng)支撐塊沿絲桿的圓柱形桿段向螺紋桿段滑動(dòng)，直至與螺紋桿緊密貼合，然后在絲桿的驅(qū)動(dòng)下可使三個(gè)支撐塊在主支撐板的導(dǎo)向作用下左右滑動(dòng)并調(diào)整到屏蔽式探針下方，從而能夠?qū)﹄娐钒暹M(jìn)行微電流泄漏檢測(cè)，在檢測(cè)完一塊電路板后可繼續(xù)調(diào)整另外兩個(gè)支撐塊的位置，從而繼續(xù)對(duì)其它電路板進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)可使檢測(cè)完成的電路板進(jìn)行冷卻，避免電路板溫度過(guò)高而出現(xiàn)燙傷的情況，并且三塊電路板全部檢測(cè)完成后才需要更換，提高檢測(cè)效率。
1.一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，包括：設(shè)備底座（1）；其特征在于：所述設(shè)備底座（1）的內(nèi)側(cè)中間位置安裝有一個(gè)控制模塊（2）；所述設(shè)備底座（1）的頂部前后側(cè)都焊接有一塊主支撐板（3），兩塊主支撐板（3）之間滑動(dòng)安裝有三個(gè)支撐塊（4），三個(gè)支撐塊（4）的頂部中間位置都固定有一個(gè)電路板托架（5）；所述設(shè)備底座（1）的頂部左右兩側(cè)都焊接有一塊側(cè)支撐板（6），兩塊側(cè)支撐板（6）之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有一根絲桿（7），側(cè)支撐板（6）的左側(cè)還安裝有一個(gè)電機(jī)（8），且電機(jī)（8）的主軸右端與絲桿（7）左端固定連接；兩塊所述主支撐板（3）之間還滑動(dòng)安裝有兩塊支撐塊推板（9），支撐塊推板（9）的前后側(cè)均通過(guò)拉簧（10）與主支撐板（3）外側(cè)中間位置的凸起板相連接；位于前方的所述主支撐板（3）頂部滑動(dòng)安裝有一根支撐塊定位桿（11），支撐塊定位桿（11）上也設(shè)置有一個(gè)拉簧（10）；位于后方的所述主支撐板（3）頂部安裝有兩根電動(dòng)缸（12），兩根電動(dòng)缸（12）頂端固定有一塊探針托板（13），探針托板（13）上滑動(dòng)安裝有一根屏蔽式探針（14），屏蔽式探針（14）外側(cè)安裝有一個(gè)彈簧（15）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述主支撐板（3）的間距與支撐塊（4）的長(zhǎng)度相等，支撐塊（4）的前后側(cè)外壁上均設(shè)有兩道矩形凸起條，兩塊主支撐板（3）的外壁上也均設(shè)有兩道對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)條形導(dǎo)槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述絲桿（7）的中間部分為螺紋桿，左右兩側(cè)為圓柱形桿，支撐塊（4）的中間位置均設(shè)有一個(gè)與絲桿（7）外側(cè)螺紋對(duì)應(yīng)的螺紋孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述絲桿（7）左右兩側(cè)圓柱形桿的外徑與絲桿（7）中間部分螺紋桿的桿徑相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述支撐塊（4）全部調(diào)整至最左側(cè)或者最右側(cè)時(shí)，三個(gè)支撐塊（4）會(huì)全部位于絲桿（7）兩側(cè)的圓柱形桿外側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述支撐塊推板（9）的前后端均設(shè)有兩塊矩形板，主支撐板（3）的左右兩側(cè)均設(shè)有兩道矩形開(kāi)口槽，且支撐塊推板（9）前后端的矩形板能夠在主支撐板（3）左右兩側(cè)的矩形開(kāi)口槽中左右滑動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述支撐塊推板（9）的頂部中間位置均設(shè)有一個(gè)缺口槽，絲桿（7）位于支撐塊推板（9）頂部中間位置的缺口槽中，且支撐塊推板（9）一側(cè)的拉簧（10）能夠拉動(dòng)支撐塊推板（9）朝向主支撐板（3）的中間位置滑動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述支撐塊定位桿（11）的前端設(shè)有一塊圓形板，支撐塊定位桿（11）外側(cè)的拉簧（10）前端與支撐塊定位桿（11）上的圓形板外壁固定連接，拉簧（10）后端與主支撐板（3）的外壁固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述探針托板（13）上設(shè)有一個(gè)圓孔，屏蔽式探針（14）的上方部分與探針托板（13）上的圓孔滑動(dòng)配合，屏蔽式探針（14）外側(cè)的圓形板與彈簧（15）的底端緊貼，彈簧（15）頂端與探針托板（13）的底部面緊貼。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微電流泄漏檢測(cè)的集成電路測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述支撐塊（4）的頂部前側(cè)中間位置均設(shè)有一個(gè)缺口槽，支撐塊定位桿（11）的后端能夠插入支撐塊（4）頂部前側(cè)中間位置的缺口槽中，而且此時(shí)電路板托架（5）會(huì)位于屏蔽式探針（14）的正下方。